實(shí)驗(yàn)級三溫區(qū)管式爐采用了控制單元和爐膛一體化設(shè)計(jì)。整體雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使表面溫度保持在60℃以下。爐膛本身采用了高純氧化鋁微晶纖維高溫真空吸附成型，加熱元件為電阻絲。散熱系統(tǒng)采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，爐體表面溫度≤60℃。真空腔室采用石英管材質(zhì)，其貫穿整個(gè)爐體，爐管兩端選用不銹鋼法蘭密封，可在真空或氣氛環(huán)境下工作。加熱元件與爐管平行，均勻的分布在爐管外，有效地保證了溫場的均勻性。采用宇電AI-3756P觸摸屏控溫儀/AI-516P智能控制儀和K型熱電偶，可編程30段程序控溫，控溫精度±3℃。

應(yīng)用場景：

主要用于：

高溫CVD工藝（如碳納米管制備）‌；

金屬擴(kuò)散焊接、晶體硅基板鍍膜‌；

新材料燒結(jié)及氣氛保護(hù)熱處理。

日常維護(hù)要點(diǎn)‌：

‌清潔保養(yǎng)‌：

每次使用后清除爐管殘留樣品，避免化學(xué)腐蝕；石英管析晶（＞1000℃發(fā)白）屬正?，F(xiàn)象‌。

每月檢查熱電偶接線、機(jī)械泵油位，及時(shí)更換老化密封圈‌。

‌設(shè)備存放‌：

關(guān)閉電源和氣閥，爐體置于通風(fēng)干燥處，遠(yuǎn)離易燃物，預(yù)留20cm散熱空間‌。

長期停用需抽真空或充惰性氣體保護(hù)爐管‌。